測定部

受光素子

１ＣＣＤイメージセンサー

測定点数

６４０×４８０点

膜ムラ測定範囲

１０～８００Å（オングストローム）（校正を必要とする）

膜ムラ分解能

１％　　　　　　　（当社光源にて）

膜ムラ測定精度

±２％　　相対値　（当社光源にて）

膜ムラ再現性

±２％　　　　　　（当社光源にて）

測定時間

３秒

光源部（オプション）

照明面積

５８０ｘ４１０ｍｍ（ＨｘＶ）：外形　６９０ｘ６９０ｍｍ　

照明有効面積

４５０ｘ３５０ｍｍ

輝度均一性（有効面積内）

８５％

輝度値

１０００ｃｄ/ｍ２以上

エージング時間

１０分

輝度変動率

１％（測定時間内）

使用環境

測定温度

２５℃　±２℃　　湿度２０～８０％ＲＨ（但し、結露しないこと）

動作温度

０～４０℃

電源

ＡＣ１００～２２０Ｖ　±1０％　５Ａ　　　　５０／６０Ｈｚ　

測定部光源部

外観は予告なく変更することがございます。

膜厚ムラ計測装置はすべて特注製品でお客様のご要望に合わせ、ムラ計測装置を開発して納入いたします。

ＩＴＯ膜

膜パターン形成ムラ

ＰＩ膜

薄いガラスによるタワミがあっても測定できます。